A serie E-UMS130-X adopta rail di guida di rulli in croce d'alta precisione cù funzione anti-creep, coopera cù un mutore lineare è una scala di griglia d'alta risoluzione, è hà i vantaghji di piccula dimensione, grande carica è pocu rumore.The anti-creep cross roller guideway hè soprattuttu adattatu per l'applicazioni chì necessitanu viaghju fine-passu, cù.
U sistema di cuntrollu di unità d'altu rendiment pò esce stabilmente à una dimensione di passu di 10nm, chì hè una prestazione impurtante chì hè difficiule di guarantisci per e piattaforme di mutore lineare di guida lineare ordinariu.Dunque, a serie UMS130-X hè soprattuttu adattata per scenarii d'applicazione di posizionamentu, rilevazione, esposizione è micro-elaborazione di alta precisione.
● Un mutore direttu senza cuntattu, ultra-alta precisione è eccellenti prestazioni dinamiche;
● Ironless mutore, a fluttuazione di vitezza hè menu cà un millesimu (cumbinatu cù u tipu specificatu di unità, dati di prova di l'ambiente di u laboratoriu);
● Silenziu è anti-creep guide rails per assicurà u cuntrollu micro-passu;
● Longa vita di serviziu, usu senza mantenimentu per un bellu pezzu;
Ci hè una scelta di codificatori incrementali di costu, codificatori incrementali di classa metrologica è codificatori di misurazione assoluta (senza riferimentu à l'accensione necessaria).Siccomu a pusizione lineale di u palcuscenicu hè misurata direttamente à a piattaforma mobile contr'à a basa stazionaria, senza cuntattu (metrologia diretta), backlash, jocu meccanicu, o deformazione in u trenu di trasmissione cum'è cumunu cù e cumminazzioni di mutore / leadscrew ùn anu micca influenza nantu à a precisione di a pusizione. .
Cù guide di rulli incruciati, u puntu di cuntattu di e sfere in guide di palla hè rimpiazzatu da u cuntattu di linea di i rulli induriti.In cunseguenza, sò considerablemente più rigidi è necessitanu menu precarica, chì riduce l'attrito è permette una corsa più liscia.I guide di rulli incruciati sò ancu distinti da una alta precisione di guida è capacità di carica.E gabbie di elementi rotanti guidati da a forza impediscenu u scorrimentu di a gabbia.
E cumminazzioni di stage à 2 assi è 3 assi sò fattibili.I tavulini XY ponu esse custruiti impilando dui tappe di un assi unicu, mentre chì un assi Z persunalizatu cù compensazione di forza di pesu pò esse usatu per cumminzioni di tappe di traduzzione XYZ.Un'altra opzione di l'asse Z hè u palcuscenicu lineale verticale UMS130-X assai compactu cù un contrappesu magneticu integratu regulabile da l'utilizatore.
Industria è ricerca.Metrolugia.Fotonica è scansione di precisione in a fabricazione di semiconduttori o display flat panel.
Specificazione | UMS130-60X | -110X | -160X |
Tipu di mutore | Motore trifase senza ferru | ||
Tipu di codificatore | Encoder incrementale 0.1um (opzionale finu à 1nm encoder, assolutu opzionale) | ||
Spinta di u mutore | Classificatu 40N Peak 90N | ||
Accelerazione (senza carica) | 3G | 2.5G | 2G |
Tipu di limitazione di pusizioni | Meccanica, fotoelettrica, software (prutezzione triple limite) | ||
Materiale | Alliage d'aluminium 6061-T6 (acciaio inox opzionale) | ||
Corsa di corsa mm | 60 | 110 | 160 |
Precisione um | ± 3um (Calibrazione ± 0.5um) | ||
Ripetibilità Precisione um | ± 0.1um(±50nm currisponde à a griglia sopra 5nm) | ||
Velocità massima mm/s | 300 mm/s | ||
Capacità massima di carica kg | 6 | 8 | 12 |
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